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证券之星消息，根据天眼查APP数据显示华海清科（688120）新获得一项发明专利授权，专利名为“金属膜厚度测量方法、装置、设备、抛光方法和存储介质”，专利申请号为CN202411628961.7，授权日为2025年2月18日。

专利摘要：本申请公开金属膜厚度测量方法、装置、设备、抛光方法和存储介质，金属膜厚度测量方法包括：通过电涡流传感器对晶圆片上金属膜的厚度进行检测，获得电涡流传感器输出的量测信号；获取量测温度；根据量测信号和基值信号，获得量测厚度值；根据量测温度和基值温度，获得厚度补偿值；根据量测厚度值和厚度补偿值，确定金属膜的厚度。本申请通过检测晶圆片上金属膜的厚度时的量测温度及基值温度，确定对电涡流传感器检测获得的量测信号进行补偿的厚度补偿值，能够将电涡流传感器受到工作环境温度影响在很大程度上消除，进而提高了金属膜厚度检测的精度。

今年以来华海清科新获得专利授权12个，较去年同期增加了20%。结合公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研发方面投入了1.71亿元，同比增23.19%。

数据来源：天眼查APP

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